买下13台EUV光刻机，中国芯片巨头领先三星，2022年量产3nm
2020年下半年，5nm芯片刚刚成为手机处理器市场主流时，台积电和三星就已经开始针对3nm工艺展开角逐。显然，在3nm工艺的量产上，中国芯片代工巨头再一次赶超三星。例如此次，该公司早在2020年，就提前为2021年的生产计划一口气买下了13台EUV光刻机。要知道，ASML的EUV光刻机，年产量不过二十多台。还有消息称，为了获得更多数量的EUV光刻机，三星还曾向ASML施压。故而，三星能否拥有足够数量的EUV光刻机，将成为GAA 3nm工艺是否能够顺利量产的关键。
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