区块链猛虎
2021-01-05
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@金捷幡：
LAM和电子束光刻
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Lam(林杰屏)，传奇的泛林集团(Lam Research)的唯一创始人。</p><p class=\"t-img-caption\"><img src=\"https://static.tigerbbs.com/580f99a5ff247fa84cb176324310d96f\" tg-width=\"688\" tg-height=\"419\"></p><p>二、</p><p>Lam Research曾被翻译成拉姆研究，这就像Toyota被翻译成“拖油塔”一样好玩。Lam是“林”姓的广东拼音，这种翻译遍及东南亚。</p><p>林先生出生在中国，70年代曾在德州仪器和惠普工作。当年大厂都自己做半导体设备，所以林先生敏锐捕捉到了当时自研蚀刻设备的瓶颈。</p><p>因为湿法蚀刻难以继续降低分辨率，林先生创建了用自己名字命名的泛林公司，主攻等离子蚀刻。</p><p>林先生曾深入一线，所以思路非常接地气。他设计的设备核心出发点就是适合量产，充分考虑到产线可能碰到的污染和效率等核心问题。</p><p>林非常有前瞻性地把数字技术用于设备控制，以避免操作员的失误。他也是第一个把内嵌Modem的远程诊断加进设备的人。</p><p><strong>结果，林先生只靠一款离子蚀刻机就打了天下，随即公司上市。那也是在神奇的1984年，他成为第一位创建纳斯达克上市公司的亚裔移民。</strong></p><p>林先生说这款设备比当时市面上的竞争对手贵了好几倍，但他认为好产品应该按给客户带来的价值定价，而不是成本定价。这种理念和ASML<a target=\"_blank\" href=\"https://laohu8.com/S/ASML\">$阿斯麦(ASML)$</a> 、AMAT<a target=\"_blank\" href=\"https://laohu8.com/S/AMAT\">$应用材料(AMAT)$</a> 异曲同工。</p><p>自此，泛林蚀刻近三十年一直笑傲江湖，而东京电子也是通过代理及与泛林合资后来成为蚀刻双雄之一。</p><p>三、</p><p>林先生在泛林上市后逐步淡出公司，追寻更多的挑战。</p><p>也许有人觉得，林先生如果一直呆在泛林到今天，百亿美金营业额的光环加上百亿身家岂不是更靓丽。</p><p><strong>然而人生的追求又何止日复一日的重复。</strong></p><p>林先生后来参与的公司包括两家IPO(ITex和Caliper)，被蔡司收购的XRadia，被Synopsis收购的FabCentric，被Dell收购的Link，被ASMI收购的NuTool，被Veeco收购的SSEC等等。</p><p>林先生最近十年的奋斗就是做多电子束的Multibeam公司。</p><p>电子束光刻的突出优点是不需要昂贵的Mask。</p><p>但最让人绝望的是，基本上所有在电子束努力过的巨头，都在晶圆大批量生产(HVM)上放弃了。</p><p>林先生也一样很不顺利。</p><p>四、</p><p>早期业界认为多电子束可以成为DUV光刻的补充，比如打孔和切割什么的。这种思路的赞同者甚至曾包括浸入光刻大佬林本坚。</p><p>然而，随着蚀刻黑科技的飞速发展，使得FinFET和NAND等3D技术成熟度超乎想象的高，多电子束作为DUV补充的需求几乎不再存在。</p><p><strong>从某种意义上说，林先生创建的泛林在这十年打败了自己的HVM电子束梦想。</strong></p><p>林先生倒不那么容易承认失败，他找到了电子束的一个Niche应用：用自己的机器在光刻后给每颗芯片再刻一个的Unique ID。</p><p>传统光刻无法给每个芯片打不同的ID或者密钥，因为Mask是一样的。</p><p>这个ID有什么用呢？芯片级唯一的ID和不可访问的私钥是关键应用的最底层信用源，这超出了PCB级的TPM。</p><p>美国国防部购买了此技术，理论上为黑客遥控军方无人机和导弹设置了最高障碍。</p><p>林先生认为核电站和银行等也应该采用带光刻密钥的主芯片，但说实话实用性似乎仍旧有限，因为系统漏洞的短板通常在人身上。</p><p>五、</p><p>EUV苦战20多年，最终和智能手机厂商产生的惊天需求胜利会师。</p><p>到了明年，ASML的High NA设备EXE:5000将点亮奔向1nm的道路。按摩尔第二定律，这台最新光刻机单价将是2.5亿美元。</p><p class=\"t-img-caption\"><img src=\"https://static.tigerbbs.com/d61068b5b0eb539f44ede6db9f016271\" tg-width=\"688\" tg-height=\"388\"></p><p>多电子束也是EUV Mask制作的重要革新，然而再往后的埃米时代呢？</p><p>从IBM开始研究到现在50年仍不放弃的电子束，也许能成为新技术的小基石。</p><p>林先生本科学习的是工程物理，但到读研的时候，核能已经不吃香了。他艰难转系到化工，离子成为连接两段知识的桥梁，也带给他第一个伟大成就：</p><p><strong>挂着“林”这个名字的机器造出的芯片躺在我们每个人的手机里。</strong><a target=\"_blank\" href=\"https://laohu8.com/S/ASML\">$LRCX$</a></p><p>今天，年近8旬的林先生仍然走在半导体业一条看不到尽头的艰难路上。这给了此文一点勇气踩一踩“成功”的那个庸俗定义，来致敬Dr. Lam。</p></body></html>","htmlText":"<html><head></head><body><p>好久没发半导体故事了。这篇是老早写的，有点价值观有问题所以一直没敢发。</p><p>转眼到了2021年，改了改作为新年开篇励志:-)</p><p>一、</p><p>我们在《光刻机之战》中讨论跨越193nm时，曾提到尼康和IBM押宝EBDW(E-beam Direct Write，电子束直写；或叫EPL，电子束投射)。</p><p>100KeV电子束的波长只有0.004nm，分辨率对比EUV优势太大了。而且电子束可以用成熟的磁透镜，不像EUV那样得用反射镜。</p><p>然而，因为电子之间的库伦效应会引起电子束偏移，而且会有下图这种散射雾化效应，电子束光刻难以做到简单加大电流来提高效率。</p><p class=\"t-img-caption\"><img src=\"https://static.tigerbbs.com/d9f6001e0d41c8fa9a8d2d3b92dbc325\" tg-width=\"534\" tg-height=\"390\"></p><p>尼康的第一代EPL生产60nm晶圆才7-10wph。根据Tennant的5次方定律，生产15nm的效率将降低到只有0.1%，一天出一片晶圆就不错了。</p><p>EUV虽然也功率宝贵，但一次扫描一片光场，比电子束一个像素一个像素写的效率还是高太多了。</p><p>电子束因为低效只适用于Mask等小批量产品上，以及晶圆的检测和修复之类的应用。</p><p>多电子束(Multi-Beam，千百支电子枪形成阵列)似乎理论上效率高，但技术难度也大大增加了，而且像素越小整块晶圆就需要越多的电子束，成本变成无底洞。</p><p>不过，多电子束的一些优点说服了Dr. David K. Lam(林杰屏)，传奇的泛林集团(Lam Research)的唯一创始人。</p><p class=\"t-img-caption\"><img src=\"https://static.tigerbbs.com/580f99a5ff247fa84cb176324310d96f\" tg-width=\"688\" tg-height=\"419\"></p><p>二、</p><p>Lam Research曾被翻译成拉姆研究，这就像Toyota被翻译成“拖油塔”一样好玩。Lam是“林”姓的广东拼音，这种翻译遍及东南亚。</p><p>林先生出生在中国，70年代曾在德州仪器和惠普工作。当年大厂都自己做半导体设备，所以林先生敏锐捕捉到了当时自研蚀刻设备的瓶颈。</p><p>因为湿法蚀刻难以继续降低分辨率，林先生创建了用自己名字命名的泛林公司，主攻等离子蚀刻。</p><p>林先生曾深入一线，所以思路非常接地气。他设计的设备核心出发点就是适合量产，充分考虑到产线可能碰到的污染和效率等核心问题。</p><p>林非常有前瞻性地把数字技术用于设备控制，以避免操作员的失误。他也是第一个把内嵌Modem的远程诊断加进设备的人。</p><p><strong>结果，林先生只靠一款离子蚀刻机就打了天下，随即公司上市。那也是在神奇的1984年，他成为第一位创建纳斯达克上市公司的亚裔移民。</strong></p><p>林先生说这款设备比当时市面上的竞争对手贵了好几倍，但他认为好产品应该按给客户带来的价值定价，而不是成本定价。这种理念和ASML<a target=\"_blank\" href=\"https://laohu8.com/S/ASML\">$阿斯麦(ASML)$</a> 、AMAT<a target=\"_blank\" href=\"https://laohu8.com/S/AMAT\">$应用材料(AMAT)$</a> 异曲同工。</p><p>自此，泛林蚀刻近三十年一直笑傲江湖，而东京电子也是通过代理及与泛林合资后来成为蚀刻双雄之一。</p><p>三、</p><p>林先生在泛林上市后逐步淡出公司，追寻更多的挑战。</p><p>也许有人觉得，林先生如果一直呆在泛林到今天，百亿美金营业额的光环加上百亿身家岂不是更靓丽。</p><p><strong>然而人生的追求又何止日复一日的重复。</strong></p><p>林先生后来参与的公司包括两家IPO(ITex和Caliper)，被蔡司收购的XRadia，被Synopsis收购的FabCentric，被Dell收购的Link，被ASMI收购的NuTool，被Veeco收购的SSEC等等。</p><p>林先生最近十年的奋斗就是做多电子束的Multibeam公司。</p><p>电子束光刻的突出优点是不需要昂贵的Mask。</p><p>但最让人绝望的是，基本上所有在电子束努力过的巨头，都在晶圆大批量生产(HVM)上放弃了。</p><p>林先生也一样很不顺利。</p><p>四、</p><p>早期业界认为多电子束可以成为DUV光刻的补充，比如打孔和切割什么的。这种思路的赞同者甚至曾包括浸入光刻大佬林本坚。</p><p>然而，随着蚀刻黑科技的飞速发展，使得FinFET和NAND等3D技术成熟度超乎想象的高，多电子束作为DUV补充的需求几乎不再存在。</p><p><strong>从某种意义上说，林先生创建的泛林在这十年打败了自己的HVM电子束梦想。</strong></p><p>林先生倒不那么容易承认失败，他找到了电子束的一个Niche应用：用自己的机器在光刻后给每颗芯片再刻一个的Unique ID。</p><p>传统光刻无法给每个芯片打不同的ID或者密钥，因为Mask是一样的。</p><p>这个ID有什么用呢？芯片级唯一的ID和不可访问的私钥是关键应用的最底层信用源，这超出了PCB级的TPM。</p><p>美国国防部购买了此技术，理论上为黑客遥控军方无人机和导弹设置了最高障碍。</p><p>林先生认为核电站和银行等也应该采用带光刻密钥的主芯片，但说实话实用性似乎仍旧有限，因为系统漏洞的短板通常在人身上。</p><p>五、</p><p>EUV苦战20多年，最终和智能手机厂商产生的惊天需求胜利会师。</p><p>到了明年，ASML的High NA设备EXE:5000将点亮奔向1nm的道路。按摩尔第二定律，这台最新光刻机单价将是2.5亿美元。</p><p class=\"t-img-caption\"><img src=\"https://static.tigerbbs.com/d61068b5b0eb539f44ede6db9f016271\" tg-width=\"688\" tg-height=\"388\"></p><p>多电子束也是EUV Mask制作的重要革新，然而再往后的埃米时代呢？</p><p>从IBM开始研究到现在50年仍不放弃的电子束，也许能成为新技术的小基石。</p><p>林先生本科学习的是工程物理，但到读研的时候，核能已经不吃香了。他艰难转系到化工，离子成为连接两段知识的桥梁，也带给他第一个伟大成就：</p><p><strong>挂着“林”这个名字的机器造出的芯片躺在我们每个人的手机里。</strong><a target=\"_blank\" href=\"https://laohu8.com/S/ASML\">$LRCX$</a></p><p>今天，年近8旬的林先生仍然走在半导体业一条看不到尽头的艰难路上。这给了此文一点勇气踩一踩“成功”的那个庸俗定义，来致敬Dr. Lam。</p></body></html>","text":"好久没发半导体故事了。这篇是老早写的，有点价值观有问题所以一直没敢发。 转眼到了2021年，改了改作为新年开篇励志:-) 一、 我们在《光刻机之战》中讨论跨越193nm时，曾提到尼康和IBM押宝EBDW(E-beam Direct Write，电子束直写；或叫EPL，电子束投射)。 100KeV电子束的波长只有0.004nm，分辨率对比EUV优势太大了。而且电子束可以用成熟的磁透镜，不像EUV那样得用反射镜。 然而，因为电子之间的库伦效应会引起电子束偏移，而且会有下图这种散射雾化效应，电子束光刻难以做到简单加大电流来提高效率。 尼康的第一代EPL生产60nm晶圆才7-10wph。根据Tennant的5次方定律，生产15nm的效率将降低到只有0.1%，一天出一片晶圆就不错了。 EUV虽然也功率宝贵，但一次扫描一片光场，比电子束一个像素一个像素写的效率还是高太多了。 电子束因为低效只适用于Mask等小批量产品上，以及晶圆的检测和修复之类的应用。 多电子束(Multi-Beam，千百支电子枪形成阵列)似乎理论上效率高，但技术难度也大大增加了，而且像素越小整块晶圆就需要越多的电子束，成本变成无底洞。 不过，多电子束的一些优点说服了Dr. David K. Lam(林杰屏)，传奇的泛林集团(Lam Research)的唯一创始人。 二、 Lam Research曾被翻译成拉姆研究，这就像Toyota被翻译成“拖油塔”一样好玩。Lam是“林”姓的广东拼音，这种翻译遍及东南亚。 林先生出生在中国，70年代曾在德州仪器和惠普工作。当年大厂都自己做半导体设备，所以林先生敏锐捕捉到了当时自研蚀刻设备的瓶颈。 因为湿法蚀刻难以继续降低分辨率，林先生创建了用自己名字命名的泛林公司，主攻等离子蚀刻。 林先生曾深入一线，所以思路非常接地气。他设计的设备核心出发点就是适合量产，充分考虑到产线可能碰到的污染和效率等核心问题。 林非常有前瞻性地把数字技术用于设备控制，以避免操作员的失误。他也是第一个把内嵌Modem的远程诊断加进设备的人。 结果，林先生只靠一款离子蚀刻机就打了天下，随即公司上市。那也是在神奇的1984年，他成为第一位创建纳斯达克上市公司的亚裔移民。 林先生说这款设备比当时市面上的竞争对手贵了好几倍，但他认为好产品应该按给客户带来的价值定价，而不是成本定价。这种理念和ASML$阿斯麦(ASML)$ 、AMAT$应用材料(AMAT)$ 异曲同工。 自此，泛林蚀刻近三十年一直笑傲江湖，而东京电子也是通过代理及与泛林合资后来成为蚀刻双雄之一。 三、 林先生在泛林上市后逐步淡出公司，追寻更多的挑战。 也许有人觉得，林先生如果一直呆在泛林到今天，百亿美金营业额的光环加上百亿身家岂不是更靓丽。 然而人生的追求又何止日复一日的重复。 林先生后来参与的公司包括两家IPO(ITex和Caliper)，被蔡司收购的XRadia，被Synopsis收购的FabCentric，被Dell收购的Link，被ASMI收购的NuTool，被Veeco收购的SSEC等等。 林先生最近十年的奋斗就是做多电子束的Multibeam公司。 电子束光刻的突出优点是不需要昂贵的Mask。 但最让人绝望的是，基本上所有在电子束努力过的巨头，都在晶圆大批量生产(HVM)上放弃了。 林先生也一样很不顺利。 四、 早期业界认为多电子束可以成为DUV光刻的补充，比如打孔和切割什么的。这种思路的赞同者甚至曾包括浸入光刻大佬林本坚。 然而，随着蚀刻黑科技的飞速发展，使得FinFET和NAND等3D技术成熟度超乎想象的高，多电子束作为DUV补充的需求几乎不再存在。 从某种意义上说，林先生创建的泛林在这十年打败了自己的HVM电子束梦想。 林先生倒不那么容易承认失败，他找到了电子束的一个Niche应用：用自己的机器在光刻后给每颗芯片再刻一个的Unique ID。 传统光刻无法给每个芯片打不同的ID或者密钥，因为Mask是一样的。 这个ID有什么用呢？芯片级唯一的ID和不可访问的私钥是关键应用的最底层信用源，这超出了PCB级的TPM。 美国国防部购买了此技术，理论上为黑客遥控军方无人机和导弹设置了最高障碍。 林先生认为核电站和银行等也应该采用带光刻密钥的主芯片，但说实话实用性似乎仍旧有限，因为系统漏洞的短板通常在人身上。 五、 EUV苦战20多年，最终和智能手机厂商产生的惊天需求胜利会师。 到了明年，ASML的High NA设备EXE:5000将点亮奔向1nm的道路。按摩尔第二定律，这台最新光刻机单价将是2.5亿美元。 多电子束也是EUV Mask制作的重要革新，然而再往后的埃米时代呢？ 从IBM开始研究到现在50年仍不放弃的电子束，也许能成为新技术的小基石。 林先生本科学习的是工程物理，但到读研的时候，核能已经不吃香了。他艰难转系到化工，离子成为连接两段知识的桥梁，也带给他第一个伟大成就： 挂着“林”这个名字的机器造出的芯片躺在我们每个人的手机里。$LRCX$ 今天，年近8旬的林先生仍然走在半导体业一条看不到尽头的艰难路上。这给了此文一点勇气踩一踩“成功”的那个庸俗定义，来致敬Dr. Lam。","highlighted":2,"essential":2,"paper":2,"link":"https://laohu8.com/post/331798181","repostId":0,"isVote":1,"tweetType":1,"commentLimit":10,"symbols":["AMAT","ASML"],"verified":2,"subType":0,"readableState":1,"langContent":"CN","currentLanguage":"CN","warmUpFlag":false,"orderFlag":false,"shareable":true,"causeOfNotShareable":"","featuresForAnalytics":[],"commentAndTweetFlag":false,"andRepostAutoSelectedFlag":false,"upFlag":false,"length":3654,"xxTargetLangEnum":"ZH_CN"},"isVote":1,"tweetType":1,"viewCount":1259,"commentLimit":10,"likeStatus":false,"favoriteStatus":false,"reportStatus":false,"symbols":[],"verified":2,"subType":0,"readableState":1,"langContent":"CN","currentLanguage":"CN","warmUpFlag":false,"orderFlag":false,"shareable":true,"causeOfNotShareable":"","featuresForAnalytics":[],"commentAndTweetFlag":false,"andRepostAutoSelectedFlag":false,"upFlag":false,"length":25,"xxTargetLangEnum":"ZH_CN"},"commentList":[],"isCommentEnd":true,"isTiger":false,"isWeiXinMini":false,"url":"/m/post/338987514"}
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