半导体设备之王的陨落

1995年日本半导体产业还具有竞争力时，尼康和佳能分别占光刻设备出货额的48.9%和28.7%，日本垄断了77.6%的总市场份额。当时，在光刻设备中占有最大市场份额的尼康被称为“设备之王”（图1）。

图1：各企业光刻设备出货额及市场份额（~2023）资料来源：基于摩根士丹利证券的数据

然而，荷兰的ASML在1995年拥有15.9%的市场份额，此后迅速扩大了市场份额，在2002年超过了尼康和佳能，在2010年超过了80%，在2021年达到了90%。2023年，ASML拥有94.2%的市场份额，而尼康和佳能将分别拥有3.1%和2.8%的份额。

ASML在ArF浸润式光刻机的出货量和可用性方面占据主导地位，自2008年以来，ASML在日本厂商中占据主导地位。ASML 也已成为最先进光刻设备 EUV 的唯一供应商。因此，日本在光刻设备领域的存在感似乎已经消失。

但是，如果我们计算光刻设备的“出货份额”而不是“出货价值份额”，情况就会不同。详情将在下文讨论。

01

各企业光刻设备出货量和市场份额

图2显示了各公司光刻设备的出货量。从2011年到2014年，ASML的出货量从222台下降到136台。尼康的销量也从85台下降到34台。另一方面，佳能的出货量变化不大，从52 台增加到54台。

图 2：各公司光刻设备出货量 （~2023）资料来源：基于摩根士丹利证券的数据

然而，从 2015 年到 2023 年，ASML 和佳能的出货量显着增加。ASML从169台增加到449台，佳能从80台增加到187台。而尼康的增幅不大，从 42 台增至 45 台。

接下来，我们来看看全球光刻设备的出货量和各公司的出货量份额（图3）。

图 3：按公司划分的光刻设备出货量份额 （~2023）资料来源：基于摩根士丹利证券的数据

ASML的出货份额一直保持在65%左右。另一方面，佳能的市场份额从2011年的11.4%逐渐增加到2015年以来的近30%，尼康2011年23.7%的市场份额在2023年逐渐下降到6.6%。

这样一来，佳能在销售份额上无法与ASML相提并论，但在出货量上，它的市场份额几乎是ASML的一半。

那么，佳能大量出货哪些光刻设备呢？

02

各公司光刻设备出货量

图 4 显示了各公司各类光刻设备的出货量：最先进的 EUV光刻机的单价为 240 亿日元，只能由 ASML 出货。2023年，这种设备的数量为 53 台。

至于单位成本为98亿日元的ArF浸润式光刻机，ASML有125台，尼康有9台，ASML有压倒性的优势。每台成本为31亿日元的ArF干式光刻机，ASML有32台，尼康有10台，尼康略胜一筹。

图4：各公司各光刻设备价格及出货量（2023年）资料来源：基于摩根士丹利证券的数据

在16亿日元的KrF光刻机中，ASML售出184台，尼康仅售出2台，佳能售出56台。这是佳能首次亮相，佳能的56台占ASML 184台的30%。此外，在7亿日元的i-line光刻机出货量中，ASML出货量为55台，尼康出货量为24台，佳能出货量为131台，约为ASML的2.4倍。

以上各种光刻设备的价格是参考ASML的财务报表计算的。在计算时，按 1 欧元 = 160 日元换算。

03

佳能专注于 KrF 和 i-line

这样一来，佳能的策略就变得显而易见了。佳能的策略是专注于KrF和i-line，而不涉及EUV和ArF等尖端产品。这种策略非常有效。

这是因为，在半导体制造中，无论多么尖端，都不能仅靠EUV制造，而是统一使用ArF浸润式、ArF干式、KrF和i-line。换句话说，无论未来半导体微型化发展到什么程度，KrF 和i-line始终都有生意可做。而且，由于设备成熟，几乎不需要开发成本。因此，佳能专注于 KrF 和 i-line 的目标是非常好的。

另一方面，尼康的战略没有佳能那么明确：在 ArF 浸润式和 ArF 干法方面，尼康完全不是 ASML 的对手。而在 KrF 和 i-line 方面，尼康也不是佳能的对手。换句话说，尼康似乎在先进设备方面接过了 ASML 的班，在成熟设备方面接过了佳能的班。

正如开头提到的，尼康在 20 世纪 90 年代被称为 "设备之王"。如今，它已成功地在 ASML 和佳能的夹缝中求生存。这确实是一个关于兴衰和无常的案例。

展望未来，在最先进的光刻设备方面，ASML 已开始交付下一代 EUV "High NA"。此外，下一代 "Hyper NA "将于 2030 年左右开发完成。这样一来，在ASML通过投入巨额研发成本追求前沿的同时，佳能有望专注于KrF和i-line业务。笔者认为，佳能放弃尖端技术的战略是 "聪明"的。

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