就是小乖
2020-11-17
看好!
台积电又买了13台EUV光刻机?
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+和N5节点上生产商用芯片,但该公司将在接下来的几个季度中增加N6(实际上定于2020年第四季度或2021年第一季度进入HVM)以及还具有EUV层的N5P流程。</p><p>台积电对EUV工具的需求随着其技术变得越来越复杂并采用了需要使用极紫外光刻工具进行处理的更多层而不断增加。台积电的N7 +最多使用四层EUV,以减少制造高度复杂的电路时多图案技术的使用。</p><p>根据ASML的数据,从2018年至2019年,每月每开始生产约45,000个晶圆,一个EUV层就需要一个Twinscan NXE光刻机(<a href=\"https://laohu8.com/S/AONE\">one</a> EUV layer required <a href=\"https://laohu8.com/S/AONE.U\">one</a> Twinscan NXE scanner for every ~45,000 wafer starts per month in 2018 ~ 2019)。随着工具生产率的提高,WSPM的数量也在增加。因此,要配备一个GigaFab(每月产能超过100,000个晶圆),以使用N3或更先进的节点制造芯片,该工厂则至少需要40个EUV工具。</p><p>台积电董事会本周早些时候批准了151亿美元的资本支出,用于购买新生产工具,晶圆厂建设和安装特殊技术能力,升级其先进封装设施以及2021年第一季度的研发等方面的支出,这些资金可能会用于购买EUV工具。。</p><h2>ASML提升EUV生产能力</h2><p>ASML最新的Twinscan NXE:3400B和NXE:3400C步进扫描系统非常昂贵。早在10月份,ASML就在其订单中透露了四个EUV系统,价值5.95亿欧元(约合7.03亿美元),因此一件设备的成本可能高达1.475亿欧元(约合1.775亿美元)。也就是说,13套EUV可能使台积电花费高达22.84亿美元。</p><p><img src=\"https://static.tigerbbs.com/57b1102eaf9c4ed89ca991edea9721d7\" tg-width=\"970\" 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NXE系统。</p><p>不可避免的是,在未来几年对EUV工具的需求只会增加,但是从今天的立场来看,在可预见的未来,台积电将继续成为这些光刻机的主要采用者,三星和英特尔也将紧随其后。</p><p></p>","collect":0,"html":"<!DOCTYPE html>\n<html>\n<head>\n<meta http-equiv=\"Content-Type\" content=\"text/html; charset=utf-8\" />\n<meta name=\"viewport\" content=\"width=device-width,initial-scale=1.0,minimum-scale=1.0,maximum-scale=1.0,user-scalable=no\"/>\n<meta name=\"format-detection\" content=\"telephone=no,email=no,address=no\" />\n<title>台积电又买了13台EUV光刻机?</title>\n<style type=\"text/css\">\na,abbr,acronym,address,applet,article,aside,audio,b,big,blockquote,body,canvas,caption,center,cite,code,dd,del,details,dfn,div,dl,dt,\nem,embed,fieldset,figcaption,figure,footer,form,h1,h2,h3,h4,h5,h6,header,hgroup,html,i,iframe,img,ins,kbd,label,legend,li,mark,menu,nav,\nobject,ol,output,p,pre,q,ruby,s,samp,section,small,span,strike,strong,sub,summary,sup,table,tbody,td,tfoot,th,thead,time,tr,tt,u,ul,var,video{ font:inherit;margin:0;padding:0;vertical-align:baseline;border:0 }\nbody{ 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