XXX111
2021-05-30

12英寸晶圆技术有多个优势。由于可代替旧代际技术中的铝而使用铜,因此电流密度允许值也较高,耐电迁移性也较优秀。此外,金属层的层数也较多,晶体管尺寸较小,因此,通过提高晶体管密度、布线密度,可以缩小芯片尺寸、提高性能。

此外,大部分180纳米工艺技术和大部分的130nm BCD(Bipolar-CMOS-DMOS)工艺技术都可以支持STI(Shallow Trench Isolation,浅槽隔离)等功能,因此与大部分在350纳米技术中使用的LOCOS(Local Oxidation of Silicon)绝缘相比,因此可以获得较高的密度、闩锁效应(Latch Up)保护机能等。因此,达到提高线路性能和稳定性的效果。

如今,130纳米 BCD工艺已经相当成熟,因此可作为各种工艺技术的选择项。如不同级别的高压晶体管、非挥发性存储半导体、MIM(金属一一绝缘膜一一金属)电容、稳压二极管(Zener)/肖特基二极管等。因此,不仅可以将复杂的模拟/RF功能与SoC解决方案融合,还可以提供其他优势

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