半导体光刻胶是光刻过程的关键耗材,光刻胶的质量和性能对光刻工艺有着重要影响,因其技术壁垒高而长期被海外大厂所主导,是半导体国产化的一道大坎。
目前全球光刻胶主要企业有日本合成橡胶(JSR)、东京应化(TOK)、住友化学、信越化学、陶氏化学等,占市场份额超过85%。
据悉,由于日本信越化学KrF光刻胶产能不足等原因,导致中国大陆多家晶圆厂KrF光刻胶供应紧张,部分中小晶圆厂KrF光刻胶甚至出现了断供,多家晶圆厂在加速验证导入本土KrF光刻胶。
而信越化学之所以停止供货部分晶圆厂KrF光刻胶,与数月前日本福岛东部海域发生7.3级地震有莫大关联。据行业人士透露,由于地震原因,信越化学KrF光刻胶产线受到很大程度的破坏,至今尚未完全恢复生产,在产线受到影响和晶圆厂扩产等多方因素下,信越化学不得不停止向中国大陆几家晶圆厂供应KrF光刻胶。
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