尼康拟于2028财年推出新款浸没式ArF光刻机，与ASML主导生态兼容

IT之家2025-02-19

IT之家 2 月 19 日消息，尼康在其 2025 财年第三财季（截至 2024 年 12 月 31 日）财报的演示文稿中透露，该企业正同合作伙伴一道开发一款兼容 ASML 主导的浸没式 ArF（IT之家注：也称 ArFi）光刻生态的新型光刻机产品，目标 2028 财年（2027 年 4 月~2028 年 3 月）推出。在浸没式 ArF 光刻领域，ASML 目前凭借其成熟的 TWINSCAN 双...

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