证券之星消息,根据天眼查APP数据显示芯源微(688037)新获得一项外观设计专利授权,专利名为“涂胶显影设备”,专利申请号为CN202430297399.9,授权日为2024年12月20日。
专利摘要:1.本外观设计产品的名称:涂胶显影设备。2.本外观设计产品的用途:用于半导体晶圆加工中的涂胶显影工艺。3.本外观设计产品的设计要点:在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图。
今年以来芯源微新获得专利授权39个,较去年同期减少了4.88%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1.17亿元,同比增52%。
数据来源:天眼查APP
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