龙图光罩:正在进行第三代光罩产品的工艺调试和样品试制

格隆汇12-20 15:59

格隆汇12月20日丨龙图光罩(688721.SH)在互动平台表示,公司自前年开始陆续订购长周期设备,今年一季度开始,相关电子束光刻机、干法刻蚀、高端检测等主要设备已陆续到货;公司目前正在进行第三代光罩产品的工艺调试和样品试制,具体进度取决于客户工艺匹配、送样认证和开始小批量采购的周期,如有最新进展公司将及时公告。

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