芯源微获得实用新型专利授权：“一种晶圆机械手和涂胶显影设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆机械手和涂胶显影设备”，专利申请号为CN202323663146.8，授权日为2024年11月22日。

专利摘要：本实用新型涉及半导体制造设备领域，尤其涉及一种晶圆机械手和涂胶显影设备，所述晶圆机械手包括：底板；第一安装件，所述第一安装件设置于所述底板上并能够相对于所述底板在竖直方向上移动；以及手指组件，所述手指组件设置于所述第一安装件上，所述手指组件包括沿竖直方向设置的N个手指固定件，每一个所述手指固定件均设置有一个晶圆手指，所述晶圆手指用于承载晶圆，本实用新型提供的晶圆机械手设置了手指组件，手指组件在竖直方向上设置了多个手指固定件，每个手指固定件均设置有一个晶圆手指，也即手指组件可以一次性移动大量的晶圆，以此提高了整体设备晶圆的传递效率。

今年以来芯源微新获得专利授权30个，较去年同期减少了14.29%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.17亿元，同比增52%。

数据来源：天眼查APP

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