SK海力士计划2026年首次导入ASML High NA EUV光刻机

IT之家08-19

IT之家 8 月 19 日消息,据韩媒 ZDNet Korea 报道,SK 海力士 EUV 材料技术人员当地时间本月 12 日出席技术会议时向媒体表示,该企业计划于 2026 年首次导入 ASML 的 High NA EUV 光刻机。SK 海力士的一位工程师表示该公司新近成立了一个 High NA EUV 研发团队,正致力于将 High NA EUV 光刻技术应用到最先进 DRAM 内存的生产上。...

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