【东北钢铁赵丽明】微导纳米（688147）深度报告：深耕ALD用于光伏半导体，步步为营推出CVD设备

东北证券研究所08-13

公司是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与应用，已开发出适用于光伏、半导体等应用领域的多款薄膜沉积设备，涵盖ALD、PEALD二合一、PECVD系列产品，并提供配套产品及服务。ALD技术广泛适用于不同环境下的薄膜沉积。CVD与PVD工艺存在厚度控制和膜...

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