迈为股份获得实用新型专利授权:“磁控溅射磁场检测工装”

证券之星07-31

证券之星消息,根据企查查数据显示迈为股份(300751)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“磁控溅射磁场检测工装”,专利申请号为CN202323537251.7,授权日为2024年7月30日。

专利摘要:本实用新型涉及磁控溅射技术领域,尤其涉及一种磁控溅射磁场检测工装。该磁控溅射磁场检测工装包括夹紧组件、活动组件和高斯计,夹紧组件的端部与活动组件铰接,夹紧组件被配置为夹紧冷却水管,活动组件呈弧形设置,活动组件所在圆的圆心与圆柱形靶材的圆心重合;冷却水管与磁钢连接,夹紧组件与活动组件限定出容置空间,磁钢和冷却水管均位于容置空间内。活动组件上开设有槽口,高斯计的探头能容置在槽口内,以测量圆柱形靶材表面的磁场强度。该磁控溅射磁场检测工装能够提高磁钢磁场强度测量的准确度,无需现有技术中多次调节冷却水管与磁轭之间的距离,省时省力,提高工作效率,节约成本。

今年以来迈为股份新获得专利授权58个,较去年同期增加了56.76%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了7.63亿元,同比增56.25%。

数据来源:企查查

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