天准科技发布国内首台40nm明场纳米图形晶圆缺陷检测设备，开启国产半导体高端检测设备新时代

半导体行业观察07-15

如果您希望可以时常见面，欢迎标星收藏哦~近日，天准科技（股票代码：688003.SH）参股的苏州硅行半导体技术有限公司（下文简称“硅行半导体”）宣布，公司面向40nm技术节点的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备TB1500已完成厂内验证，标志着国产半导体高端检测设备实现了新的突破。这是继去年8月，天准科技正式交付面向12英寸晶圆65~90nm技术节点的宽波段明场缺陷检测设备TB1000不到一年后，再次...

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