芯碁微装获得发明专利授权：“一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置及控制方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯碁微装（688630）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置及控制方法”，专利申请号为CN201811418269.6，授权日为2024年7月12日。

专利摘要：本发明公开了一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置及控制方法，属于激光直写曝光技术领域，包括A气动门主体、B气动门主体、A控制阀门、B控制阀门、控制装置和供气调节管路；A气动门主体的气路接口与A控制阀门连接，A气动门主体的磁性开关接口与控制装置的DI接口连接；A控制阀门气路接口与供气调节管路输出连接，A控制阀门的控制接口与控制装置的DO接口连接；B气动门主体的气路接口与B控制阀门连接，B气动门主体的磁性开关接口与控制装置的DI接口连接；B控制阀门气路接口与供气调节管路输出连接，B控制阀门的控制接口与控制装置的DO接口连接。本发明可实现气动门稳定平滑控制。

今年以来芯碁微装新获得专利授权20个，较去年同期增加了33.33%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了9454.06万元，同比增11.56%。

数据来源：企查查

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