中微公司获得发明专利授权：“等离子体处理装置及其工作方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“等离子体处理装置及其工作方法”，专利申请号为CN202011004465.6，授权日为2024年7月5日。

专利摘要：本发明公开了一种等离子体处理装置及基片处理方法，所述装置包括：反应腔，其顶部具有开口，其内底部设置基座，所述基座用于承载待处理基片；安装基板，坐落于所述开口内；气体喷淋头，位于所述安装基板的下方，且与基座相对设置；电极，位于所述安装基板与气体喷淋头之间；绝缘层，分别位于所述安装基板与电极、以及气体喷淋头与电极之间；直流电流，与所述电极电连接，以使所述气体喷淋头吸附在安装基板上。本发明改善了气体喷淋头与后续电极的物理接触，从而更好的对气体喷淋头进行温度控制，降低了安装的复杂性。

今年以来中微公司新获得专利授权79个，较去年同期增加了6.76%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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