中微公司申请喷淋头加热设备专利，提高喷淋头的清洁效果及沉积工艺效率

金融界06-21

金融界2024年6月21日消息，天眼查知识产权信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“一种喷淋头加热装置、气相沉积设备及喷淋头控温方法”的专利，公开号CN202211651089.9，申请日期为2022年12月。专利摘要显示，本发明公开了一种喷淋头加热装置、气相沉积设备及喷淋头控温方法。所述气相沉积设备包括反应腔体，所述反应腔体的顶部包括安装基板，所述安装基板上设有用于将反应气体...

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