消息称SK海力士将在1c DRAM生产中采用新型Inpria MOR光刻胶

IT之家05-30

IT之家 5 月 30 日消息，随着 DRAM 小型化的不断推进，SK 海力士、三星电子等公司正在致力于新材料的开发和应用。据 TheElec，SK Hynix 计划在第 6 代（1c 工艺，约 10nm）DRAM 的生产中使用 Inpria 下一代金属氧化物光刻胶（MOR），这是 MOR 首次应用于 DRAM 量产工艺。消息人士称，SK Hynix 量产的 1c DRAM 上有五个极紫外 (...

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