上海新阳获得发明专利授权：“一种清洗液组合物的制备方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示上海新阳（300236）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种清洗液组合物的制备方法”，专利申请号为CN202211369671.6，授权日为2024年5月24日。

专利摘要：本发明公开了一种清洗液组合物的制备方法。该制备方法包括如下步骤：将所述的清洗液组合物中的各个组分混合，即得到所述的清洗液组合物；清洗液组合物包括下述质量分数的组分：氧化剂、0.001‑0.010％氧化型谷胱甘肽、半胱氨酸、0.01‑0.05％水溶性高分子、有机碱、螯合剂、缓蚀剂、羧酸铵、0.01‑0.05％EO‑PO聚合物L42和水，水补足余量。采用本发明的清洗液组合物的制备方法制得的清洗液组合物对多种金属及介电材料缓蚀性强；可以高度选择性地移除Ti、TiN、TaN、TiNxOy硬遮罩或包含上述物质的合金的硬遮罩；对具有等离子刻蚀后残余物和灰化后残余物清洗效果佳。

今年以来上海新阳新获得专利授权29个，较去年同期增加了52.63%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了1.49亿元，同比增20.05%。

数据来源：企查查

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