未来的光刻机：6.7nm波长不太可能，0.75 NA有机会

半导体行业观察04-21

英特尔已经完成了第一台高数值孔径（High NA）极紫外光刻扫描仪的组装，英特尔院士 Mark Phillips （马克·菲利普斯）讨论了进展和前景。Twinscan EXE: 5000 的供应商 ASML Holding NV（荷兰 Veldhoven）必须完成扫描仪的集成和校准，该扫描仪位于俄勒冈州希尔斯伯勒的英特尔研发基地 D1X。英特尔院士兼英特尔代工厂逻辑技术开发光刻、硬件和解决方案总监...

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