如果您希望可以时常见面,欢迎标星 收藏哦~来源:内容来自半导体行业观察(ID:icbank)综合,谢谢。三星电子研究员 Young Seog Kang 表示,EUV 技术的使用寿命是有限的。最近,在 SPIE 高级光刻会议的小组讨论中,Kang 表示,高数值孔径 EUV 光刻将遇到“性能和成本问题”。研究人员指出双重图案和先进的封装技术可以作为替代方案。小组中的其他人并不同意他的悲观观点。Kang...
网页链接如果您希望可以时常见面,欢迎标星 收藏哦~来源:内容来自半导体行业观察(ID:icbank)综合,谢谢。三星电子研究员 Young Seog Kang 表示,EUV 技术的使用寿命是有限的。最近,在 SPIE 高级光刻会议的小组讨论中,Kang 表示,高数值孔径 EUV 光刻将遇到“性能和成本问题”。研究人员指出双重图案和先进的封装技术可以作为替代方案。小组中的其他人并不同意他的悲观观点。Kang...
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