深圳中科飞测科技股份有限公司的主营业务是为半导体行业客户提供涵盖设备产品、智能软件产品和相关服务的全流程良率管理解决方案。公司的主要产品是无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、明场纳米图形晶圆缺陷检测设备系列、暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、介质膜厚量测设备系列、金属膜厚量测设备系列、套刻精度量测设备系列、光学关键尺寸量测设备系列、晶圆平整度量测设备系列、电子束关键尺寸量测设备系列、高深宽比刻蚀结构量测设备系列、硅通孔铜填充空隙量测设备系列、3D曲面玻璃量测设备系列、良率管理系统、半导体缺陷自动分类系统、光刻套刻分析反馈系统。2017年,公司通过国家高新技术企业认定,2022年通过国家级专精特新“小巨人”企业认定,并于2025年通过国家制造业“单项制造冠军企业”认定。自成立至今,凭借较强的研发实力,公司牵头承担了多个国家级、省级、市级重点专项研发任务,参与了《智能制造机器视觉在线检测系统通用要求》(GB/T40659-2021)国家标准的起草制定,以及《面向智能制造的机器视觉在线检测通用要求》(IEEE2671-2022)国际标准的制定,并于2025年加入全国电子测量仪器标准化技术委员会(SAC/TC153),成为“半导体集成电路测量仪器标准研究组”副组长单位,不断助力国内集成电路产业领域关键产品和技术的攻关与突破,进一步巩固并提升了公司的竞争优势。